Opis
Proizvođač: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SISTEM ZA RASPRŠAVANjE
3 CILjE
AUTO/RUČNI VENTIL
MEHANIČKA PUMPA SA DIREKTNIM POGONOM
DIFFUSION PUMP
MOŽE SE NADOGRADITI ROTACIJOM ZA DRŽANjE (4) 8" VAFLE
Airco Temescal HRS 2550 je sistem za raspršivanje. Ima 3 cilja, automatski / ručni ventil, mehaničku pumpu sa direktnim pogonom i difuzionu pumpu. Takođe ima r/f napajanje. Može se nadograditi na obnovljenu glavu CTI-10 kriopumpe sa kompresorom.
Tehnički podaci
Dimenzije: 16 inča visina k 25,5 inča
prečnik (406 mm k 647,7 mm)
Pričvršćivanje: vertikalno montirani držači supstrata na vrtešci, opciona mogućnost flip-flop-a
Kapacitet: (minimalno) 64 pločice od 2 inča (51 mm).
Zaštita: minimalno 3 odbijanja
Toplota podloge: maksimalno 3 kV
Broj katoda: maksimalno tri ručni ventil sa mehom zaptivenim argonom sa mogućnošću merenja
Vakumska kabina (uključujući kućište za elektroniku): 82,5 inča visoka (sa ormarićem
gornja konzola) k 64 inča širine k 40 inča dubine (2100 mm k 1625 mm k 1025 mm)
Napajanje (uključujući kontrolne konzole):
36 inča visok k 25,5 inča širok k 25,5 inča dubok (915 mm m k 650 mm k 650 mm)
Tipične statičke stope taloženja: 15.000
A/minuti aluminijum, 20.000 A/minuti bakar
Distribucija: � 5% sa maskiranjem izvora
Veličina mete: 8,25 inča k 3,56 inča (210 mm k 90 mm)
Radni napon: -400 do -800V DC katodni potencijal (vršne stope taloženja na
-400 do -500V dc)
Maksimalna radna snaga: 5 KV. 0,2 do 7A
Radni pritisak: 1 k 10-2 do 1 k 10-3 tora
Voda za hlađenje: (0,5 gpm na 20°C) po izvoru
Izlazna snaga: 5 kV, podesiva struja od 0,2A
do 7A; napon od 50V dc do 800V dc;
zavisno od pritiska
Radni ciklus: 100%
Merenje: izlazna struja, 0 do 1A, i 0 do
10A, dc skala; napon katoda-zemlja,
0 do 1,5 kV dc; napon anoda-zemlja,
0 do 150V dc
Brave: napajanje, vrata kabine, voda, poklopac komore i pritisak u komori
Potreban servis: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 faze
Maksimalni vakuum: opseg od 10-8 tora
Difuziona pumpa: 5300 litara u sekundi, 10 inča visoka k 16 inča i.d.
Mehanička pumpa: 35 cfm (1000 litara u sekundi, dvostepena).
Hladna zamka: kapacitet 4,5 litara; 2600 kvadratnih inča (1,67 m2) površine
Visoki vakuum ventil: 16 inča (406 mm) i.d., sa mehom
Bajpas ventil visokog vakuuma: 3 inča (75 mm) i.d., promenljiva provodljivost
Ventil za glad i ventil za grubu obradu: 2 inča (51 mm) i.d
Aktiviranje ventila: elektropneumatsko (svi vakuumski ventili)
Redosled ventila: ručno i automatsko
Imajte na umu da je ovaj opis možda preveden automatski. Kontaktirajte nas za dalje informacije. Podaci ovog malog oglasa su samo indikativni. Ekapro preporučuje da proverite detalje kod prodavca pre kupovine