Opis
Nano PLD-1000 sistem je potpuno integrisan instrument za lasersko taloženje za višeslojne filmove na podlogama prečnika do 2 inča. Koristi tri izvora energije: PhisikCOMPek PRO 110 Coherent Lambda laser, magnetronski izvor rasejanja i Veeco jonski izvor od 3 cm.
Ključne komponente i specifikacije:
Laserski sistem: PhisikCOMPek PRO 110 Lambda ekscimer laser (248-nm, KrF) sa tehnologijom keramičke cevi, do 100Hz brzine ponavljanja i 20 MV/puls.
Magnetron Izvor: PVD proizvodi Titan magnetron sa prečnikom mete od 5 cm, koji radi u DC (400 V mak) ili RF (300 V mak) režimima pri pritiscima od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Jonski izvor: Veeco 3 cm jonski izvor sa fokusnim rešetkama, neutralizatorom, energijom snopa od 50-1200 eV i maksimalnom strujom od 100 mA.
Vakum sistem:
Vakumska komora sa prirubnicama za pribor (npr. spektroskopija, jonski top). Uključuje Pfeiffer vodeno hlađenu vakuumsku sondu, turbo pumpu (250 l/s, 60.000 RPM) i rotirajuću pumpu.
Vakummetari: InstruTech Convectron (atmosferski do 10^-3 Torr) i Hornet Baiard-Alpert (do 10^-9 Torr).
MKS digitalni merač protoka (50 sccm) kalibrisan za kiseonik sa ručnim isključivanjem.
Optičke i manipulacione karakteristike:
Fiksna optička putanja sa talasnom dužinom od 248 nm, 2-inčnim HR ogledalima i upadnim uglom lasera od 60° za smanjenu kontaminaciju.
Manipulator sa tri pozicije (3” ili 6 k 2”, maksimalna debljina 6 mm) sa kompjuterizovanim odabirom i rotacijom do 50 o/min.
Rukovanje podlogom:
Grejač podloge (6000°C mak) sa premazom hlađenim vodom. Razmak cilj-podloga: 75 mm.
Programabilni otvor za promenu uzoraka sa motorizovanim držačem Z-ose (2" hod) i turbo pumpom (70 l/s, 90.000 RPM). Osnovni pritisak: < 5 k 10^-8 Torr.
Dodatne karakteristike:
Nano PLD IV inteligentni sistem prozora sa diskom od kvarcnog stakla i razdelnikom zraka za produženu čistoću optičkog puta.
Optički pirometar (0,78–1,06 μm spektralni opseg) za praćenje temperature podloge (500–2000°C).
Merači masenog protoka, hladnjak vode, kompresor vazduha i sklop rotacione podloge (do 40 obrtaja u minuti) za ravnomerno taloženje filma.
Imajte na umu da je ovaj opis možda preveden automatski. Kontaktirajte nas za dalje informacije. Podaci ovog malog oglasa su samo indikativni. Ekapro preporučuje da proverite detalje kod prodavca pre kupovine