Opis
SSEC CLEAN 3300
MODEL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Datum proizvodnje 30.8.2005
AC Dvg br. 330i1712
1) oblanda je natopljena mešavinom rastvarača (tzv. čišćenje potapanjem)
2) postoji obrada rastvaračima raspršivanjem (tzv. Fan Sprai Processing) i faza sušenja azotom.
Jedinica ima tzv. dri-in/dri-out sistem (suve oblatne unutra/suve oblatne van).
Čišćenje TSV nakon DRIE graviranja je od suštinskog značaja za pouzdanost 2.5D i 3D IC uređaja. SSEC-ovo vlasništvo
Tehnologija namakanja i prskanja minimizira vreme prskanja i upotrebu hemije za nižu cenu vlasništva od
konvencionalni pristupi na mokroj klupi ili pristupi sa jednim prskanjem; postigao je 100% fotootpor i bočni zid
Uklanjanje fluoropolimera 5 puta brže od samo prskanja.
Alat ima softver za namakanje u jednakom vremenu za kontrolu procesa. Svaka oblanda se namače u zagrejanoj, recirkulacionoj
rastvarač dovoljno dugo da prodre u ostatak polimera. Nakon mokrog prenošenja na stanicu za prskanje,
oblata se podvrgava prskanju pod visokim pritiskom da bi se brzo uklonili preostali ostaci. Rezultat je 100%
fotorezist i uklanjanje polimera. Za namakanje i prskanje potrebno je 88% manje vremena i 77,5% manje hemije nego
procesi samo za prskanje.
Imajte na umu da je ovaj opis možda preveden automatski. Kontaktirajte nas za dalje informacije. Podaci ovog malog oglasa su samo indikativni. Ekapro preporučuje da proverite detalje kod prodavca pre kupovine