Kategorier
Börja sälja

Konto

Logga in
Skapa ett konto

Konto

Logga in
Skapa ett konto
Airco Temescal HRS 2550 P240311905
Airco Temescal HRS 2550 P240311905

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system Verifierad säljare

Pris på förfrågan

Lägg ett motbud
Tillverkare Airco
Modell Temescal HRS 2550
År
Plats rådjur US
Kategori PCB diverse
Serienummer P240311905
Språk
bg Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550
cs Rozprašovací systém Airco Temescal Hrs 2550
da Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
de Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System
el Airco Temescal Hrs 2550 Σύστημα σπατουλαρίσματος
en Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering system
es Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550
fr Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550
hr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sustav prskanja
hu Airco Temescal Hrs 2550 porlasztó rendszer
it Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550
lt "Airco Temescal Hrs 2550" dulkinimo sistema
nl Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem
pl System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550
pt Sistema de pulverização catódica Airco Temescal Hrs 2550
ro Sistem Sputtering Airco Temescal Hrs 2550
ru Система напыления Airco Temescal Hrs 2550
sr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sistem za prskanje
sv Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
tr Airco Temescal Hrs 2550 Püskürtme sistemi

Specifikationer

Funktionalitet andra
-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat Bra
Enligt lokala normer ---------
Status

Beskrivning

Tillverkare Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERINGSSYSTEM
3 TARGETS
AUTOMATISK/MANUELL VENTIL
DIREKTDRIVEN MEKANISK PUMP
DIFFUSIONSPUMPA
KAN UPPGRADERAS MED ROTERANDE FIXTUR FÖR ATT HÅLLA (4) 8" WAFERS

Airco Temescal HRS 2550 är ett sputteringssystem. Den har 3 mål, automatisk/manuell ventilering, direktdriven mekanisk pump och diffusionspump. Har också en r/f-strömförsörjning. Kan uppgraderas till ett ombyggt CTI-10 kryopumphuvud med kompressor.
Tekniska data
Dimensioner: 16 tum hög x 25,5 tum
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Utrustning: karusell med vertikalt monterade substrathållare, möjlighet till flip-flop som tillval
Kapacitet: (minst) 64 stycken 51 mm (2 tum) wafers
Skärmning: minst 3 studsar
Substratuppvärmning: maximalt 3 kW
Antal katoder: maximalt tre Argon-inlopp bälgtätad manuell ventil med doseringsmöjlighet

Vakuumskåp (inklusive elektronikkabinett): 82,5 tum högt (med skåpets
konsol på skåpets ovansida) x 64 tum bred x 40 tum djup (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Strömförsörjning (inklusive kontrollkonsoler):
36 tum hög x 25,5 tum bred x 25,5 tum djup (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typiska statiska deponeringshastigheter: 15,000
A/minut aluminium, 20.000 A/minut koppar
Fördelning: � 5% med källmaskering
Målstorlek: 210 mm x 90 mm (8,25 tum x 3,56 tum)
Driftspänning: -400 till -800V dc katodpotential (högsta deponeringshastigheter vid
-400 till -500V dc)
Maximal driftseffektnivå: 5 KW. 0,2 till 7A
Arbetstryck: 1 x 10-2 till 1 x 10-3 torr
Kylvatten: (0,5 gpm vid 20�C) per källa

Utgångseffekt: 5 kW, strömjusterbar från 0,2A
till 7A; spänning från 50V dc till 800V dc;
tryckberoende
Arbetscykel: 100
Mätning: utgångsström, 0 till 1A, och 0 till
10A, dc-skala; katod-till-jord-spänning,
0 till 1,5 kV dc; anod-till-jord-spänning,
0 till 150 V dc
Förreglingar: strömförsörjning, dörrar till skåp, vatten, kammarlucka och kammartryck
Erforderlig strömförsörjning: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3-fas

Slutvakuum: 10-8 torr-intervall
Diffusionspump: 5300 liter/sekund, 10 tum hög x 16 tum i.d.
Mekanisk pump: 35 cfm (1000 liter/sekund, tvåstegs)
Kylfälla: 4,5 liters kapacitet; 2600 kvadrattum (1,67 m2) yta
Högvakuumventil: 406 mm (16 tum) i.d., bälgtätad
Bypassventil för högt vakuum: 75 mm (3 tum) i.d., variabel konduktans
Famine-ventil och grovbearbetningsventil: 51 mm (2 tum) i.d.
Ventilmanövrering: elektropneumatisk (alla vakuumventiler)
Ventilsekvensering: manuell och automatisk

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp


Klienttyp Handlare
Aktiv sedan 2014
Erbjudanden online 46
Sista aktiviteten 19 december 2024

Beskrivning

Tillverkare Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERINGSSYSTEM
3 TARGETS
AUTOMATISK/MANUELL VENTIL
DIREKTDRIVEN MEKANISK PUMP
DIFFUSIONSPUMPA
KAN UPPGRADERAS MED ROTERANDE FIXTUR FÖR ATT HÅLLA (4) 8" WAFERS

Airco Temescal HRS 2550 är ett sputteringssystem. Den har 3 mål, automatisk/manuell ventilering, direktdriven mekanisk pump och diffusionspump. Har också en r/f-strömförsörjning. Kan uppgraderas till ett ombyggt CTI-10 kryopumphuvud med kompressor.
Tekniska data
Dimensioner: 16 tum hög x 25,5 tum
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Utrustning: karusell med vertikalt monterade substrathållare, möjlighet till flip-flop som tillval
Kapacitet: (minst) 64 stycken 51 mm (2 tum) wafers
Skärmning: minst 3 studsar
Substratuppvärmning: maximalt 3 kW
Antal katoder: maximalt tre Argon-inlopp bälgtätad manuell ventil med doseringsmöjlighet

Vakuumskåp (inklusive elektronikkabinett): 82,5 tum högt (med skåpets
konsol på skåpets ovansida) x 64 tum bred x 40 tum djup (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Strömförsörjning (inklusive kontrollkonsoler):
36 tum hög x 25,5 tum bred x 25,5 tum djup (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typiska statiska deponeringshastigheter: 15,000
A/minut aluminium, 20.000 A/minut koppar
Fördelning: � 5% med källmaskering
Målstorlek: 210 mm x 90 mm (8,25 tum x 3,56 tum)
Driftspänning: -400 till -800V dc katodpotential (högsta deponeringshastigheter vid
-400 till -500V dc)
Maximal driftseffektnivå: 5 KW. 0,2 till 7A
Arbetstryck: 1 x 10-2 till 1 x 10-3 torr
Kylvatten: (0,5 gpm vid 20�C) per källa

Utgångseffekt: 5 kW, strömjusterbar från 0,2A
till 7A; spänning från 50V dc till 800V dc;
tryckberoende
Arbetscykel: 100
Mätning: utgångsström, 0 till 1A, och 0 till
10A, dc-skala; katod-till-jord-spänning,
0 till 1,5 kV dc; anod-till-jord-spänning,
0 till 150 V dc
Förreglingar: strömförsörjning, dörrar till skåp, vatten, kammarlucka och kammartryck
Erforderlig strömförsörjning: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3-fas

Slutvakuum: 10-8 torr-intervall
Diffusionspump: 5300 liter/sekund, 10 tum hög x 16 tum i.d.
Mekanisk pump: 35 cfm (1000 liter/sekund, tvåstegs)
Kylfälla: 4,5 liters kapacitet; 2600 kvadrattum (1,67 m2) yta
Högvakuumventil: 406 mm (16 tum) i.d., bälgtätad
Bypassventil för högt vakuum: 75 mm (3 tum) i.d., variabel konduktans
Famine-ventil och grovbearbetningsventil: 51 mm (2 tum) i.d.
Ventilmanövrering: elektropneumatisk (alla vakuumventiler)
Ventilsekvensering: manuell och automatisk

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp

Specifikationer

Funktionalitet andra
-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat Bra
Enligt lokala normer ---------
Status

Om denna säljare

Klienttyp Handlare
Aktiv sedan 2014
Erbjudanden online 46
Sista aktiviteten 19 december 2024

Här är ett urval av liknande maskiner

Se alla alternativ

Laddar liknande maskiner...

Kategorier

Meny Kategorier Sök

Meny

Börja sälja

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system