Beskrivning
Automatisk defektdetektering och klassificering
Automatiserad inspektion av matriser
Dimensionell metrologi med hög precision
Mätning av kritiska dimensioner (CD) och överlägg
Automatisk och manuell drift
Detektering av yt- och kantdefekter
Detektering av texturdefekter (t.ex. fläckar etc.)
Detektering av saknade eller deformerade objekt
Omfattande kapacitet för granskning av defekter
Grafiska kartor och bildarkivering
Import av CAD-filer
NGS-seriens system för defektdetektering och metrologi är konstruerade för applikationer där det krävs automatiserad optisk defektdetektering och precisionsmätningar av dimensioner på wafers och andra delar. De lämpar sig väl för användning både som produktionsverktyg och som mångsidiga processutvecklingssystem. Dessa system erbjuder ett urval av avancerade mikroskopkomponenter (Olympus/Nikon/Leica), BF/ DF/DIC-belysning och linjärmotorer med skalor på 0,02 mikrometer. Det finns flera konfigurationer tillgängliga beroende på dina krav. Dessa inkluderar: en 200 mm plattform, en 300 mm plattform och en robotplattform för automatiserad wafer- och detaljhantering.
Avancerad dimensionell metrologi på wafernivå och system för detektering av defekter
motoriserad scen med 8"x8" XY-förflyttning
motoriserad fokus
Inspektion med ljusfält och mörkfält
Typiskt 5-100 defekter/mätningar per sekund
200 mm/s förflyttningshastighet
programvarustyrd koaxial- och bakgrundsbelysning (genomgående ljus) med dubbla 150 W fiberoptiska strömförsörjningar
maximal belastningskapacitet på scenen 50 kg
granitbas och Z-kolonn
linjära steg med sluten slinga och Z-axel med positionsåterkoppling och Micro-e Mercury 3500 smarta kodarsystem ger bättre upplösning än 1um
Programvara: RMS Vision Systems med färggrafik, bildarkivering och offline-granskning av defekter
Nikon-mikroskop med motoriserad objektivrotation, lutande ultrabredt trinokulärt visningshuvud med 10x okular
Hitachi CCTV, Windows XP
Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp