Kategorier
Börja sälja

Konto

Logga in
Skapa ett konto

Konto

Logga in
Skapa ett konto
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370

PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvledarmaskin Verifierad säljare

Pris på förfrågan

Lägg ett motbud
Tillverkare PVD Products, USA
Modell NANO PLD 1000
År 2014
Plats Rumänien RO
Kategori Halvledare diverse
Serienummer P241126370
Språk
bg Полупроводникова машина PVD Products, USA NANO PLD 1000
cs Polovodičový stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
da PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvleder maskine
de PVD Products, USA NANO PLD 1000 Sondere Halbleiter Maschine
el Μηχανή ημιαγωγών PVD Products, USA NANO PLD 1000
en Laser Ablation Thin Film Deposition System
es Máquina semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
fr Equipement de semi-conducteur PVD Products, USA NANO PLD 1000
hr Poluvodički stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
hu PVD Products, USA NANO PLD 1000 Félvezető gép
it Macchina di semiconduttori PVD Products, USA NANO PLD 1000
lt Puslaidininkinė mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
nl PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halfgeleidermachine
pl Maszyna do półprzewodników PVD Products, USA NANO PLD 1000
pt Máquina semicondutora PVD Products, USA NANO PLD 1000
ro Mașină cu semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
ru PVD Products, USA NANO PLD 1000 Оборудование для полупроводников
sr Poluprovodnička mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
sv PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvledarmaskin
tr Yarı İletken Makinası PVD Products, USA NANO PLD 1000

Specifikationer

-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat excellent
Enligt lokala normer ---------
Status i produktion

Beskrivning

Nano PLD-1000-systemet är ett helintegrerat instrument för laserbeläggning av flerskiktsfilmer på substrat med en diameter på upp till 2 tum. Det använder tre energikällor: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda-laser, en magnetronspridningskälla och Veeco 3 cm jonkälla.

Viktiga komponenter och specifikationer:
Lasersystem: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimerlaser (248 nm, KrF) med Ceramic Tube-teknik, upp till 100 Hz repetitionshastighet och 20 MWatt/puls.
Magnetronkälla: PVD Products Titan-magnetron med en måldiameter på 5 cm, som arbetar i DC- (max 400 W) eller RF-läge (max 300 W) vid tryck från 0,5 mTorr till 1 Torr.
Jonkälla: Veeco 3 cm jonkälla med fokusgaller, neutraliserare, strålenergi på 50-1200 eV och maxström på 100 mA.
Vakuumsystem:
Vakuumkammare med flänsar för tillbehör (t.ex. spektroskopi, jonkanon). Inkluderar en Pfeiffer vattenkyld vakuumsond, turbopump (250 l/s, 60.000 varv/min) och rotationspump.
Vakuummätare: InstruTech Convectron (atmosfäriskt till 10^-3 Torr) och Hornet Bayard-Alpert (till 10^-9 Torr).
MKS digital flödesmätare (50 sccm) kalibrerad för syre med manuell avstängning.
Optiska och manipuleringsfunktioner:
Fast optisk bana med 248 nm våglängd, 2-tums HR-speglar och 60° laserinfallsvinkel för minskad kontaminering.
Målmanipulator med tre positioner (3" eller 6 x 2", max tjocklek 6 mm) med datoriserat val och upp till 50 varv/minut rotation.
Hantering av substrat:
Substratvärmare (max 6000°C) med vattenkyld beläggning. Avstånd mellan mål och substrat: 75 mm.
Programmerbar lucka för provbyten med motoriserad Z-axel (2" slaglängd) och turbopump (70 l/s, 90.000 varv/min). Bastryck: < 5 x 10^-8 Torr.
Ytterligare funktioner:
Nano PLD IW Intelligent Window-system med kvartsglasskiva och stråldelare för utökad renhet i den optiska banan.
Optisk pyrometer (spektralområde 0,78-1,06 μm) för övervakning av substrattemperatur (500-2000°C).
Massflödesmätare, vattenkylare, luftkompressor och roterande substratenhet (upp till 40 varv/min) för jämn filmdeponering.

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp


pvd-products-usa-nano-pld-1000-p241126370_3.pdf Ladda ner
Klienttyp Användare - SME
Aktiv sedan 2024
Erbjudanden online 2
Sista aktiviteten 26 november 2024

Beskrivning

Nano PLD-1000-systemet är ett helintegrerat instrument för laserbeläggning av flerskiktsfilmer på substrat med en diameter på upp till 2 tum. Det använder tre energikällor: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda-laser, en magnetronspridningskälla och Veeco 3 cm jonkälla.

Viktiga komponenter och specifikationer:
Lasersystem: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimerlaser (248 nm, KrF) med Ceramic Tube-teknik, upp till 100 Hz repetitionshastighet och 20 MWatt/puls.
Magnetronkälla: PVD Products Titan-magnetron med en måldiameter på 5 cm, som arbetar i DC- (max 400 W) eller RF-läge (max 300 W) vid tryck från 0,5 mTorr till 1 Torr.
Jonkälla: Veeco 3 cm jonkälla med fokusgaller, neutraliserare, strålenergi på 50-1200 eV och maxström på 100 mA.
Vakuumsystem:
Vakuumkammare med flänsar för tillbehör (t.ex. spektroskopi, jonkanon). Inkluderar en Pfeiffer vattenkyld vakuumsond, turbopump (250 l/s, 60.000 varv/min) och rotationspump.
Vakuummätare: InstruTech Convectron (atmosfäriskt till 10^-3 Torr) och Hornet Bayard-Alpert (till 10^-9 Torr).
MKS digital flödesmätare (50 sccm) kalibrerad för syre med manuell avstängning.
Optiska och manipuleringsfunktioner:
Fast optisk bana med 248 nm våglängd, 2-tums HR-speglar och 60° laserinfallsvinkel för minskad kontaminering.
Målmanipulator med tre positioner (3" eller 6 x 2", max tjocklek 6 mm) med datoriserat val och upp till 50 varv/minut rotation.
Hantering av substrat:
Substratvärmare (max 6000°C) med vattenkyld beläggning. Avstånd mellan mål och substrat: 75 mm.
Programmerbar lucka för provbyten med motoriserad Z-axel (2" slaglängd) och turbopump (70 l/s, 90.000 varv/min). Bastryck: < 5 x 10^-8 Torr.
Ytterligare funktioner:
Nano PLD IW Intelligent Window-system med kvartsglasskiva och stråldelare för utökad renhet i den optiska banan.
Optisk pyrometer (spektralområde 0,78-1,06 μm) för övervakning av substrattemperatur (500-2000°C).
Massflödesmätare, vattenkylare, luftkompressor och roterande substratenhet (upp till 40 varv/min) för jämn filmdeponering.

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp

Specifikationer

-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat excellent
Enligt lokala normer ---------
Status i produktion

Om denna säljare

Klienttyp Användare - SME
Aktiv sedan 2024
Erbjudanden online 2
Sista aktiviteten 26 november 2024

Här är ett urval av liknande maskiner

Se alla alternativ

Laddar liknande maskiner...

Kategorier

Meny Kategorier Sök

Meny

Börja sälja

PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvledarmaskin