Beskrivning
SSEC REN 3300
MODELL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Tillverkningsdatum: 8/30/05
AC Dwg nr 330i1712
1) skivan blötläggs i en blandning av lösningsmedel (s.k. rengöring genom nedsänkning)
2) det sker bearbetning genom sprayning av lösningsmedel (s.k. Fan Spray Processing) och kvävetorkning.
Enheten har ett s.k. dry-in/dry-out-system (dry wafers in/ dry wafers out).
TSV-rengöring efter DRIE-etsning är avgörande för tillförlitligheten hos 2,5D- och 3D-IC-enheter. SSEC:s egenutvecklade
blötläggnings- och sprayteknik minimerar spraytiden och kemikalieanvändningen för lägre ägandekostnad än
konventionella metoder med våtbänk eller en enda spray; den uppnådde 100% fotoresist och sidovägg
borttagning av fluorpolymerer 5x snabbare än enbart sprutning.
Verktyget har mjukvara för processstyrning med "equal-time soak". Varje wafer blötläggs i uppvärmd, recirkulerande
lösningsmedel tillräckligt länge för att tränga igenom polymerresterna. Efter våt överföring till sprutstationen
sprutas skivan med högt tryck för att snabbt avlägsna kvarvarande rester. Resultatet är 100%
borttagning av fotoresist och polymer. Blötläggning och sprayning tar 88% kortare tid och 77,5% mindre kemi än
processer med enbart spray.
Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp