SSEC 3302 Maskin för borttagning av resist och rengöring av wafers

Pris på förfrågan

Lägg ett motbud
Tillverkare Ssec
Modell M3302
År
Plats rådjur US
Kategori Halvledare - Waferutrustning
Serienummer P240304602
Språk

Specifikationer

-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat Bra
Enligt lokala normer ---------
Status

Beskrivning

SSEC REN 3300

MODELL: M3302

208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP

Tillverkningsdatum: 8/30/05

AC Dwg nr 330i1712



1) skivan blötläggs i en blandning av lösningsmedel (s.k. rengöring genom nedsänkning)

2) det sker bearbetning genom sprayning av lösningsmedel (s.k. Fan Spray Processing) och kvävetorkning.

Enheten har ett s.k. dry-in/dry-out-system (dry wafers in/ dry wafers out).



TSV-rengöring efter DRIE-etsning är avgörande för tillförlitligheten hos 2,5D- och 3D-IC-enheter. SSEC:s egenutvecklade

blötläggnings- och sprayteknik minimerar spraytiden och kemikalieanvändningen för lägre ägandekostnad än

konventionella metoder med våtbänk eller en enda spray; den uppnådde 100% fotoresist och sidovägg

borttagning av fluorpolymerer 5x snabbare än enbart sprutning.



Verktyget har mjukvara för processstyrning med "equal-time soak". Varje wafer blötläggs i uppvärmd, recirkulerande

lösningsmedel tillräckligt länge för att tränga igenom polymerresterna. Efter våt överföring till sprutstationen

sprutas skivan med högt tryck för att snabbt avlägsna kvarvarande rester. Resultatet är 100%

borttagning av fotoresist och polymer. Blötläggning och sprayning tar 88% kortare tid och 77,5% mindre kemi än

processer med enbart spray.

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp


Klienttyp Handlare
Aktiv sedan 2014
Erbjudanden online 24
Sista aktiviteten 11 september 2024

Beskrivning

SSEC REN 3300

MODELL: M3302

208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP

Tillverkningsdatum: 8/30/05

AC Dwg nr 330i1712



1) skivan blötläggs i en blandning av lösningsmedel (s.k. rengöring genom nedsänkning)

2) det sker bearbetning genom sprayning av lösningsmedel (s.k. Fan Spray Processing) och kvävetorkning.

Enheten har ett s.k. dry-in/dry-out-system (dry wafers in/ dry wafers out).



TSV-rengöring efter DRIE-etsning är avgörande för tillförlitligheten hos 2,5D- och 3D-IC-enheter. SSEC:s egenutvecklade

blötläggnings- och sprayteknik minimerar spraytiden och kemikalieanvändningen för lägre ägandekostnad än

konventionella metoder med våtbänk eller en enda spray; den uppnådde 100% fotoresist och sidovägg

borttagning av fluorpolymerer 5x snabbare än enbart sprutning.



Verktyget har mjukvara för processstyrning med "equal-time soak". Varje wafer blötläggs i uppvärmd, recirkulerande

lösningsmedel tillräckligt länge för att tränga igenom polymerresterna. Efter våt överföring till sprutstationen

sprutas skivan med högt tryck för att snabbt avlägsna kvarvarande rester. Resultatet är 100%

borttagning av fotoresist och polymer. Blötläggning och sprayning tar 88% kortare tid och 77,5% mindre kemi än

processer med enbart spray.

Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp


Specifikationer

-------------------
Arbetade timmar
Timmar under ström
Stat Bra
Enligt lokala normer ---------
Status

Om denna säljare

Klienttyp Handlare
Aktiv sedan 2014
Erbjudanden online 24
Sista aktiviteten 11 september 2024

Här är ett urval av liknande maskiner

SSEC 3302 Maskin för borttagning av resist och rengöring av wafers