Beskrivning
Termisk chuckkontroll & termochucksystem
TP03500-systemet består av en lågbruskontroller; en temperaturkontrollerad vakuumchuckenhet och ditt val av kylalternativ. Tillgänglig i diametrar på 200 mm (8 tum) eller 300 mm (12 tum), passar ThermoChuck en mängd olika waferstorlekar. Alla ThermoChucks har förmågan att stänga av yttre vakuumringar för bättre "hållning" av mindre wafers. Chuckytan är elektriskt isolerad och pläterad (guld, nickel, anodiserad eller annat) för din applikation.
För enhetskarakterisering och analytiska mätningar på wafers och hybrider när målet är att upprätthålla sondkontakt under temperaturexkursioner, erbjuder Temptronic Constant Height ThermoChuck. Designad med hjälp av Temptronics patenterade teknologi, Constant Height ThermoChuck bibehåller tillväxt så låg som 50 mikron och planhet till 50 mikron genom hela temperaturområdet.
Funktioner
- Patenterad ThermoChuck-design ger exceptionell termisk och mekanisk stabilitet och precision
- Överlägsen temperaturlikformighet:
- Ytplanhet
- Yta till bas-parallellism: <20 mikron @+200°C
- Ytisolering: > 109 ohm standard; >1014 ohm tillgänglig
- Lågt brus DC Control System håller elektriskt brus till ett minimum
- Modulär systemdesign för bekväma, kostnadseffektiva systemuppgraderingar som waferdiameter
och temperaturkraven ändras
- CE-godkänd, ETL-listad för U.S.A. och Kanada och kompatibel med SEMI S2-93A-standarder
Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp