Beskrivning
Inspektions- och granskningsstation för nakna och mönstrade wafers
Inspektera 300 mm wafers i FOUP-laddare eller 200 mm wafers i öppna kassetter med adaptrar
2 FOUP-lastare
Axiotron 300 mikroskop
Equipe-robot med PRE-5120 förriktare
300 mm waferchuck med 300 mm x 300 mm xy-stage
DIC, ljusfält, mörkfält
Objektiv: Epiplan Neofluar 2,5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
xenonljuskälla med fiberkabel
Windows NT-operativsystem med SmartVIEW ver.4.13-programvara för visuell inspektion och defektklassificering,
wafer mappning, filhantering, bildhantering och bearbetning.
Observera att denna beskrivning kan ha översatts automatiskt. Kontakta oss för mer information. Informationen i denna klassificerade annons är endast vägledande. Exapro rekommenderar att kontrollera detaljerna med säljaren innan ett köp