açıklama
Gofret Boyutu 300 mm
Proses PE-ALD Sistemi
Yazılım Sürümü Eagle I ASMJ yazılımı (Windows yerleşik XP / İşletim Sistemi)
Diğer belgelerle birlikte indirmek için aşağıdaki yapılandırma dosyasına bakın.
Talep üzerine tam şema seti mevcuttur.
Proses PE-ALD Oksit, HT-SiO/HT-SiN
Donanım Yapılandırması (fab):
Ana Sistem ASM PE-ALD Sistemi Ana Bilgisayar 1
Taşıyıcı Sistem FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Fabrika Arayüzü FOUP 2
Opsiyon Sistemi
Diğerleri Proses Odası (RC3 / RC4) 2
Donanım Yapılandırması (alt fabrika/yardımcı üniteler):
Güç Rafı 1
Alet Durumu: Sökülmüş, kasalanmış ve depoda. (Mart 2023)
ASM Eagle yeni gibidir. Üretimde hiç kullanılmadı ve yalnızca gofretleri test etmek için kullanıldı. Bir bölmede gaz kelebeği sorunu ve RF Gen sorunu vardı. RF Gen değiştirildi ancak gaz kelebeği valfi değiştirilmedi, bu nedenle levhaları test etmek için yalnızca bir oda kullanıldı. Sıvı gaz paneli kullanılmadı. İçerisinde 2 adet yedek MFC bulunmaktadır.
Bu gelişmiş makine, çeşitli alt tabaka malzemeleri üzerinde ultra ince, tekdüze kaplamalar oluşturmak için plazmayla geliştirilmiş atomik katman biriktirme (PEALD) teknolojisini kullanır. Olağanüstü tekdüzelik ve tekrarlanabilirliğe sahip kaplamalar üretme kapasitesine sahip olup, bu da onu yarı iletken endüstrisindeki çok çeşitli uygulamalar için ideal kılmaktadır.
ASM Eagle XP5, metaller, oksitler ve diğer bileşikler de dahil olmak üzere çok çeşitli malzemeleri biriktirmek için kullanılabilen çok yönlü bir araçtır. Aynı zamanda çeşitli proses basınçlarında ve sıcaklıklarında çalışabilmesi, onu çeşitli üretim ortamlarında kullanıma uygun hale getirir.
Etkileyici kaplama özelliklerine ek olarak ASM Eagle XP5 aynı zamanda dayanıklılık ve bakım kolaylığı da göz önünde bulundurularak üretilmiştir. Sağlam bir tasarıma sahiptir ve ASM'nin yüksek kaliteli, güvenilir ekipman üretme konusundaki itibarıyla desteklenmektedir.
Bu açıklamalar otomatik olarak çevrilmiştir lütfen dikkat ediniz. Daha fazla bilgi için bize ulaşın. Bu sınıflandırılmış reklamın bilgileri yalnızca gösterge niteliğindedir. Firmamız, satın almadan önce satıcıyla ayrıntıları kontrol etmenizi önerir.