açıklama
iXH6045H Kuru Vakum Pompası
Ürüne Genel Bakış
iXH kuru pompa serisi, yarı iletken üretimi, düz panel ekranlar ve güneş enerjisi uygulamalarındaki zorlu prosesler için özel olarak tasarlanmıştır. Önceki modellere kıyasla %10 daha az enerji tüketimi ile daha düşük sahip olma maliyeti sunar. Pompa, Gas Buster™ teknolojisi ile gelişmiş toz işleme, yan ürün birikimini en aza indirmek için geniş bir çalışma sıcaklığı aralığı ve pompa ömrünü uzatmak ve sızıntı risklerini azaltmak için geliştirilmiş salmastra teknolojisine sahiptir.
Teknik Özellikler
Model: ACHD02123300XS
Gerilim: 380-460V
Yüksek Gerilim: 6000V
Gaz Modülü: Tek mod (44 sL/dak akış)
Egzoz: Çek valf olmadan standart
Mühürler: Standart
Pompa Motoru: 11 kW
Güçlendirici Motor: 7,5 kW
Uygulamalar
Yüksek-k ve düşük-k uygulamaları
SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN ve EPI süreçleri
CVD, PECVD ve MOCVD
Şerit/aşındırma, oksit aşındırma, metal aşındırma ve implant kaynağı
Teknik Özellikler
Boyutlar:
Uzunluk: 1080 mm
Genişlik: 517 mm
Yükseklik: 966 mm
Performans
Pompalama Hızı: 5000 - 5200 m³/saat
Nihai Vakum: < 5 x 10-³ mbar
Maksimum Giriş Basıncı: 1000 mbar
Soğutma:
Su Akış Hızı: 12 l/dak
Su Besleme Basıncı: 6,9 bar (100 psig)
Temel Özellikler
Gelişmiş EPI ve solar prosesler için ideal yüksek hidrojen pompalama hızları
İmalat tesislerine kolay entegrasyon için daha küçük ayak izine sahip kompakt tasarım
UL, CE ve S2 standartlarına uygunluk
Bu pompa, gelişmiş proses kapasitesi, enerji verimliliği ve kompakt bir tasarımın çok önemli olduğu zorlu ortamlar için optimize edilmiştir. Daha fazla ayrıntı ve kullanım kılavuzu için lütfen eksiksiz ürün kılavuzuna bakın.
Bu açıklamalar otomatik olarak çevrilmiştir lütfen dikkat ediniz. Daha fazla bilgi için bize ulaşın. Bu sınıflandırılmış reklamın bilgileri yalnızca gösterge niteliğindedir. Firmamız, satın almadan önce satıcıyla ayrıntıları kontrol etmenizi önerir.