açıklama
Gasonics/IPC 9104 Kül/Etch sistemi
12" (çap) x 20" (D) kuvars varil
yumuşak pompalama ve boşaltma valfi
düşük parti̇küllü tasarim
VCR bağlantı parçaları ile 2ea kütle akışlı gaz girişleri
tüm SS tesisat,
çok kanallı/tek kartlı bilgisayar kontrollü, disket depolamalı
sıcaklık monitörü
ENI OEM 12B 1250W RF Jeneratör
Gofret Boyutu: 4", 6", 8" kapasite
Kapasite: 50 adet 8" gofret, 50-75 adet 6" gofret, 100 adet 4" gofret.
Hazne: Kuvars, florlu kimya ile uyumlu. 12" çap x 20" derinlik. Harici RF elektrotları.
RF Jeneratör: 1250 watt 13.56 MHz otomatik empedans eşleştirme ağına sahip hava soğutmalı. İsteğe bağlı su soğutmalı.
Proses Basıncı: Yaklaşık 120 - 2000 mtorr.
Paslanmaz Çelik Tesisat.
Sıcaklık Monitörü: Proses odasında bulunan kuvars kaplı termokupl.
Ekran: Proses parametrelerinin, otomatik reçetelerin veya manuel plazma işlemlerinin kontrolü ve izlenmesi için renkli 12,1" dokunmatik ekran.
Kullanıcı tarafından belirlenen dört gaz, 500 sccm Paslanmaz Çelik MFC'ler ile standart olarak gelir ve isteğe bağlı 3. ve/veya 4. gaz kanalı mevcuttur.
Güç Gereksinimleri: 208 - 240 volt, 3 faz, 50/60 Hz 5 telli "wye".
Kilitleme kollu bir NEMA-12 duvara montaj muhafazası, asher, güç kaynağı ve pompa için AC güç kontrolünü içerir ve tüm sistem için tek bir kaynak düşüşüne izin verir.
CE Sertifikalı.
Bu açıklamalar otomatik olarak çevrilmiştir lütfen dikkat ediniz. Daha fazla bilgi için bize ulaşın. Bu sınıflandırılmış reklamın bilgileri yalnızca gösterge niteliğindedir. Firmamız, satın almadan önce satıcıyla ayrıntıları kontrol etmenizi önerir.