açıklama
Wafer/Substrat boyutu: 6"/150 çapa kadar
X,Y, Teta Aşaması
6" üzerinde düzlemsellik: <10 µm
Çözünürlük: 5 µm
Hareket aralığı: 155 x 155 mm
Yük stroku Y ekseni: 90 mm
Z yükseklik ayar aralığı: 10 mm
Z kontak/ayırma stroku: 3 mm
Teta hareketi (standart): 360°
Teta hareketi, ince (isteğe bağlı): ±10°
Chuck
Düzlemsellik: 3 µm
Dikey sertlik 6": <15 µm/10 N
Prob Kafası Plakası
Sabitleme Tipi: Vakum, manyetik, HF
Hareket aralığı: 40 mm
Temas/ayrılma stroku: 0,2 mm
Tekrarlanabilirlik: 1 µm
Yardımcı Programlar
Vakum: -0,8 bar
Basınçlı hava: 4 bar
Boyutlar ve Ağırlık
Genişlik x Derinlik x Yükseklik: 490 x 490 x480mm
Ağırlık: 60 kg
Bu açıklamalar otomatik olarak çevrilmiştir lütfen dikkat ediniz. Daha fazla bilgi için bize ulaşın. Bu sınıflandırılmış reklamın bilgileri yalnızca gösterge niteliğindedir. Firmamız, satın almadan önce satıcıyla ayrıntıları kontrol etmenizi önerir.