Karl SUSS MJB-3

Description de l'offre

Le Karl Suss MJB 3 Mask Aligner est conçu pour la photolithographie haute résolution dans un environnement de laboratoire, de développement ou de production pilote. Le MJB 3 offre une flexibilité inégalée dans la manipulation de substrats de forme irrégulière et de pièces d'épaisseur différente, ainsi que des plaquettes de taille standard jusqu'à 3 "de diamètre.

Microscope:

M400 Normalfield avec tourelle à objectif rotatif et tête de microscope trinoculaire

Objectifs du microscope:

Objectifs Leitz NPL 5X, 10X et 20X

Oculaires du microscope:

Oculaires 10X

Lamphouse:

Lampadaire 350W

Lampe:

Une lampe au mercure haute pression (Hg) de 350 W est actuellement installée

Optique d'exposition:

UV400

Capteur optique:

CH1: 365 nm, CH2: 405 nm

Minuteur:

Numérique

Alimentation CIC:

Contrôleur à intensité constante CIC 1000

REMARQUE:

CE MJB 3 PEUT ÉGALEMENT ÊTRE COMMANDÉ POUR LES CONFIGURATIONS SUIVANTES:
APPLICATIONS DUV (254nm) ALIGNEMENT IR.
VEUILLEZ NOUS CONTACTER POUR LES DÉTAILS ET LES PRIX

Outillage:

Comprend un (1) ensemble de porte-masque standard et un mandrin d'alignement de plaquette correspondant à la taille de plaquette souhaitée par le client

Table Vib / Iso:

Vendu séparément; sous réserve de disponibilité au moment de la commande

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