Asher plasma PVA Tepla MetroLine M4L

Description de l'offre

Des recettes en plusieurs étapes, un affichage graphique en temps réel, un accès par mot de passe à plusieurs niveaux, un enregistrement des données et une surveillance SPC en temps réel de tous les paramètres du plasma sont fournis.
Chambre : 9″ X 13″ X 20″ en aluminium, avec port KF 40 à haute conductance, papillon des gaz et vanne d'isolement.
Électrodes : 3 étagères avec électrodes en cage.
Générateur RF Seren : 600 watts 13,56 MHz refroidi par air avec réseau d'adaptation automatique d'impédance.
Affichage : Écran tactile couleur de 10,4 pouces pour le contrôle et la surveillance des paramètres de processus, des recettes automatiques ou des traitements plasma manuels.
Deux gaz spécifiés par l'utilisateur, avec des MFC de 500 sccm
Alimentation requise : 120-240 volts, 1ø, 50/60 Hz 30 ampères maximum, modifiable sur le terrain.
Certifié CE

SÛRETÉ ET SÉCURITÉ
Verrouillages électroniques et logiciels
puissance radio
Pression
Porte de la chambre ouverte/fermée
Arrêt d'urgence à l'avant et à l'arrière du centre du réacteur et sur le boîtier mural.
Sécurité par mot de passe pour les modes manuel et édition.
Alarmes sonores.
Limites d'alarme logicielles sur les paramètres critiques du processus.
Capteur d'alarme de surchauffe (générateur).
Relais RF câblé verrouillé avec la porte de la chambre de traitement.
Connexion de verrouillage externe pour étendre la boucle de contrôle 24 VCA.

LE M4L EST IDÉAL POUR :
Modification de la surface du plasma
Nettoyage plasma des surfaces organiques
Amélioration de la force d'adhésion
Applications de gravure au plasma
Applications des cendres plasma
Mouillabilité accrue ou diminuée
Toute autre application du système plasma
L’ensemble du système de paillasse tient dans une seule armoire, à l’exception de la pompe à vide.

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