Glen Technologies R3A Plasma Asher

Περιγραφή καταχώρησης

Το PLC ελέγχεται και προσφέρει απλή αγγλική ανάγνωση σε πραγματικό χρόνο των παραμέτρων λειτουργίας του συστήματος μαζί με διορθωτικές ενέργειες σε περίπτωση ματαίωσης.
Active Plasma για τακτικό καθαρισμό επιφανειών δειγμάτων
RIE Plasma για επιθετικό καθαρισμό δειγμάτων που δεν είναι ευαίσθητα στην ESD
Downstream, Plasma Χωρίς Electron για καθαρισμό ευαίσθητων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων
Το Glen R3A Plasma Cleaner μπορεί να λειτουργήσει σε μία ή διπλή ακολουθία πλάσματος
Advanced Energy PE-1000 AC Πηγή ισχύος πλάσματος. 500w@ 40khz
Ηλεκτρόδια: (2) Σετ ηλεκτροδίων 14 x 14 ιντσών. μπορεί να χωρέσει έως και 8 δίσκους δειγμάτων
3 λειτουργίες πλάσματος:
ACTIVE PLASMA για τακτικό καθαρισμό επιφανειών δειγμάτων
RIE PLASMA για επιθετικό καθαρισμό δειγμάτων που δεν είναι ευαίσθητα σε ESD
DOWNSTREAM PLASMA ΧΩΡΙΣ ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΑ για καθαρισμό ευαίσθητων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων
Είσοδοι αερίου: διπλές είσοδοι αερίου με βελονοβαλβίδες, ελεγχόμενες με PLC
Διεπαφή υπολογιστή: Διασύνδεση RS 232
Απαιτήσεις ισχύος: 110 Volt
Ονομασία ρεύματος πλήρους φορτίου: 13 Amp
Δεν περιλαμβάνεται η αντλία κενού

This equipment is located in US