Asher de plasma Glen Technologies R3A

Descripción del anuncio

Controlado por PLC y ofrece lectura en inglés simple en tiempo real de los parámetros operativos del sistema junto con acciones correctivas en caso de una interrupción.
Plasma activo para la limpieza rutinaria de superficies de muestras
RIE Plasma para limpieza agresiva de muestras no sensibles a ESD
Plasma libre de electrones para la limpieza de componentes electrónicos sensibles
El limpiador de plasma Glen R3A se puede utilizar en una secuencia de plasma simple o doble.
Fuente de energía de plasma de CA Advanced Energy PE-1000; 500w @ 40khz
Electrodos: (2) juegos de electrodos de 14 x 14 pulgadas; Capaz de hasta 8 bandejas de muestras.
3 modos de plasma:
PLASMA ACTIVO para la limpieza rutinaria de superficies de muestras
RIE PLASMA para una limpieza agresiva de muestras no sensibles a ESD
PLASMA SIN ELECTRONES PARA LA LIMPIEZA DE COMPONENTES ELECTRÓNICOS SENSIBLES
Entradas de gas: entradas de gas duales con válvulas de aguja, controladas por PLC
Interfaz de computadora: interfaz RS 232
Requisitos de energía: 110 voltios
Clasificación de corriente de carga completa: 13 amperios
Bomba de vacío no incluida

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